| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>KL=КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ<.>)
Общее количество найденных документов : 12
Показаны документы с 1 по 12
1.

    Иванов, Р. Д.
    Магнитные металлические пленки в микроэлектронике [Текст] / Р. Д. Иванов. - М. : Советское радио, 1980. - 192 с. : ил. ; 20см. - 0.60 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.843

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
вакуумное испарение -- электролитическое осаждение -- катодное распыление -- магнитопленочные элементы -- магнитостатические свойства -- микроэлектроника -- цилиндрические магнитные домены -- аморфные магнитные материалы -- электрический заряд -- старение магнитных пленок -- отжиг -- микроэлектронные устройства -- запоминающие устройства
Аннотация: Рассмотрены основные этапы формирования металлических пленок. Достаточно подробно описаны основные методы нанесения пленок: вакуумное испарение, электролитическое осаждение, катодное распыление. Приведены магнитостатические, электрические, структурные, механические свойства магнитных металлических пленок, а также режимы получения пленок для использования их в технике.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

2.

    Ханке, Х. И.
    Технология производства радиоэлектронной аппаратуры [Текст] / Х. И. Ханке, Х. Фабиан ; под ред. В. Н. Черняева ; пер. с нем.: А. И. Кирпиченкова, А. В. Антюхова. - М. : Энергия, 1980. - 464 с. : ил. ; 26см. - 2.70 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 32.844

Рубрики: Связь--Радиоэлектронная аппаратура

Кл.слова (ненормированные):
электронные системы -- резисторы -- конденсаторы -- диоды -- транзисторы -- дискретные элементы -- интегральные микросхемы -- тонкие пленки -- катодное распыление -- трафаретная печать -- окисление -- диффузия -- печатные платы -- диэлектрики -- травление -- фотопечать -- индуктивность -- емкость -- пайка -- сварка
Аннотация: Приводятся основные понятия о технологии производства радиоэлектронной аппаратуры. Рассмотрены методы получения элементов электронных схем-резисторов, конденсаторов, диодов, транзисторов, интегральных микросхем. Описана технология производства печатных плат. Детально рассмотрены сборка, монтаж, подготовка элементов, сварка, пайка, припои, контроль, включая контроль готовой продукции.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Фабиан, Х.
Черняев, В. Н.
Кирпиченков, А. И.
Антюхов, А. В.
Найти похожие

3.

    Черняев, В. Н.
    Технология производства интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для вузов / В. Н. Черняев; под ред. А. А. Васенкова. - М. : Энергия, 1977. - 376 с. : ил. ; 20см. - 1.01 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- термовакуумное испарение -- катодное распыление -- диффузия -- эпитаксия -- фотолитография -- пленочные микросхемы -- полупроводники -- радиоэлектронная аппаратура
Аннотация: Рассматриваются физико-химические основы типовых процессов производства интегральных микросхем: термовакуумного испарения, катодного распыления, химических и электрохимических методов получения слоев, диффузии, эпитаксии, ионного внедрения и фотолитографии. Описываются технологии изготовления интегральных гибридных пленочных и интегральных полупроводниковых микросхем. Для студентов вузов, инженеров, специалистов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Васенков, А.А.
Найти похожие

4.

    Холлэнд, Л.
    Нанесение тонких пленок в вакууме [Текст] : монография / Л. Холлэнд ; пер. с англ. Н. В. Васильченко. - М. ; Л. : Госэнергоиздат, 1963. - 607 с. : ил. ; 20 см. - 40.00 р.
ГРНТИ
УДК
ББК 34.663

Рубрики: Обработка материалов--Нанесение покрытий

Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА -- ИСПАРЕНИЕ
Аннотация: Книга представляет собой монографию, в которой подробно обобщены и систематизированы методы нанесения покрытий в вакууме: изготовление тонких пленок посредством испарения в вакууме и катодное распыление. Рассмотрены вопросы формирования структуры и физические свойства тонких пленок. Большое внимание уделено описанию применяемой аппаратуры.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Васильченко, Н. В.
Найти похожие

5.

    Слуцкая, В. В.
    Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот [Текст] : научное издание / В. В. Слуцкая. - М. : Советское радио, 1967. - 456 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 428-452 (46 назв.) . - 1.47 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Радиотехника--СВЧ техника

Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМ -- ИСПАРИТЕЛИ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ИОНИЗАЦИОННЫЙ МАНОМЕТР -- КВАРЦЕВЫЙ ГЕНЕРАТОР -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СОПРОТИВЛЕНИЯ -- ЦИЛИНДРИЧЕСКИЕ СОПРОТИВЛЕНИЯ -- ПОГЛОЩАЮЩИЕ СОПРОТИВЛЕНИЯ -- АМПЛИТУДНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ -- ФЕРРИТЫ -- ЛОКАЛЬНЫЕ ПОГЛОТИТЕЛИ -- МИКРОСХЕМЫ -- ЛАМПЫ БЕГУЩЕЙ ВОЛНЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ БОЛОМЕТРЫ
Аннотация: В книге излагаются вопросы физики, технология изготовления и применения в технике сверхвысоких частот тонких металлических и магнитных пленок. Рассматриваются отличительные особенности таких пленок по сравнению с массовыми материалами.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

6.

    Иванов, Р. Д.
    Катодный метод создания пленочных элементов микросхем [Текст] : научное издание / Р. Д. Иванов. - М. : Энергия, 1972. - 112 с. : ил., табл. ; 20 см. - (Б-ка радиотехнолога ; вып. 1). - Библиогр.: с. 105-109 (101 назв.). - 0.32 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Электронные приборы

Кл.слова (ненормированные):
КАТОДНЫЙ МЕТОД -- ПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- ИОННОЛУЧЕВАЯ ТЕХНИКА -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Аннотация: В книге детально рассмотрен катодный метод получения пленок, описаны его разновидности, дан краткий анализ промышленной аппаратуры для получения пленочных элементов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

7.

    Акишин, А И.
    Ионная бомбардировка в вакууме [Текст] : научное издание / А И. Акишин. - М. ; Л. : Госэнергоиздат, 1963. - 142 с. : ил., табл. ; 20 см. - Библиогр.: с. 130-142 (263 назв.). - 0.41 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Физика--Электронные явления

Кл.слова (ненормированные):
ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ЭЛЕКТРОННЫЕ УМНОЖИТЕЛИ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ИОННЫЕ ПУЧКИ -- ХОЛОДНЫЕ КАТОДЫ -- КОРПУСКУЛЯРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ
Аннотация: В книге кратко описаны вторичные процессы, возникающие при ионной бомбардировке поверхности твердого тела. Рассматривается полезная и вредная роль ионной бомбардировки в электровакуумных приборах, экспериментальной физике и при космических полетах.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

8.

    Добрецов, Л. Н.
    Эмиссионная электроника [Текст] : монография / Л. Н. Добрецов, М. В. Гомоюнова. - М. : Наука, 1966. - 564 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 543-558 ( 574 назв.). - Предм. указ.: с. 559-564. - 2.39 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Физика--Электронные явления

Кл.слова (ненормированные):
ТВЕРДОЕ ТЕЛО -- ТЕРМОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ -- ОБЪЕМНЫЕ ЗАРЯДЫ -- ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИЯ -- ПОВЕРХНОСТНАЯ ИОНИЗАЦИЯ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Аннотация: В этой книге рассматриваются некоторые вопросы, относящиеся к разделу физики, называемому физической электроникой. Авторы ставят задачу не столько описания экспериментов, сколько изложения основных закономерностей, установленных на опыте.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Гомоюнова, М. В.
Найти похожие

9.

    Плешивцев, Н. В.
    Катодное распыление [Текст] : монография / Н. В. Плешивцев. - М. : Атомиздат, 1968. - 343 с. : ил., табл. ; 22 см. - Библиогр.: с. 297-334 (742 назв.). - Предм. указ.: с. 335-339. - 1.73 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Физика--Электричество

Кл.слова (ненормированные):
ЭМИТТИРОВАННЫЕ ЧАСТИЦЫ -- КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация: В книге дается обзор экспериментальных и теоретических исследований катодного распыления. Рассмотрены вопросы практического использования этого явления в науке и технике.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

10.

    Данилин, Б. С.
    Вакуумное нанесение тонких пленок [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин ; под ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1967. - 311 с. : граф., рис., табл. ; 21 см. - Библиогр.: с. 304-311. - 1.10 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Физика--Физика твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМНОЕ НАНЕСЕНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ИЗМЕРЕНИЕ ВАКУУМА -- ИСПАРИТЕЛИ -- ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
Аннотация: Рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемая при получении тонких пленок.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Нилендер, Р. А.
Найти похожие

11.

    Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ [Текст] = Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis : в 2 кн. : монография / Дж. Гоулдстейн [и др.] ; пер. с англ. Р. С. Гвоздовер, Л. Ф. Комоловой ; под ред. В. И. Петрова. - М. : Мир, 1984.
   Кн. 2. - 1984. - 348 с. : ил., табл. ; 22 см. - Библиогр.: с. 318-341. - 3.10 р.
Тит. л. парал. на англ. яз.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Физика--Электронные явления

Кл.слова (ненормированные):
МЕТОДЫ ПРЕПАРИРОВАНИЯ -- МИКРООЗОЛЕНИЕ -- РЕНТГЕНОВСКИЙ АНАЛИЗ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Аннотация: Во второй книге монографии изложена методика проведения количественного рентгеновского микроанализа с многочисленными примерами и практическими рекомендациями, а также техника различных объектов для последующего их исследования в РЭМ РМА. Рассмотрены вопросы нанесения специальных покрытий, особенности исследования биологических (влагосодержащих) образцов и т. д.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Гоулдстейн, Дж. Goldstein J. I.
Ньюбери, Д. Newbury D. E.
Эчлин, П. Echlin P.
Джой, Д. Joy D. C.
Фиори, Ч. Fiori C.
Лифшин, Э. Lifshin E.
Гвоздовер, Р. С. \\пер.\\
Комолова, Л. Ф. \\пер.\\
Петров, В. И. \\ред.\\
Найти похожие

12.

   
    Монокристаллические пленки [Текст] = Single-crystal films : доклады / пер. с англ. С. Н. Горина, А. К. Милай, А. Ф. Орлова ; под ред. З. Г. Пинскера. - М. : Мир, 1966. - 400 с. : ил., табл. ; 22 см. - Библиогр. в конце ст. - Предм. указ.: с. 394-398. - 1.88 р.
Тит. л. парал. на англ. яз.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Физика--Физика твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
АМОРФНЫЕ ПОВЕРХНОСТИ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ -- КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ РЕШЕТКИ -- ДИФФУЗИЯ -- ЭПИТАКСИЯ -- ДИСКРЕТНОЕ ИСПАРЕНИЕ -- МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ СЛОИ
Аннотация: В книге основное внимание уделяется результатам теоретического и экспериментального исследования роста и строения монокристаллических и эпитаксиальных пленок в связи с различными условиями их получения. Много места отводится вопросам применения новейшей методики для изучения тонких деталей строения кристаллов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Горин, С. Н.
Милай, А. К.
Орлов, А. Ф.
Пинскер, З. Г.
Найти похожие

 
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)