A883690-ОХФ, A883691-ОХФ Козловский, Виталий Васильевич. Модифицирование полупроводников пучками протонов [Текст] / В. В. Козловский. - Санкт-Петербург : Наука, 2003. - 267, [5] с. - Библиогр. - ISBN 5-02-024988-2 (в пер.) : 85.00 р.
Рубрики: физика--физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- легирование -- радиационные дефекты -- диффузия протонно-стимулированная -- легирование трансмутационное -- модифицирование полупроводников Экземпляры всего: 2 ОХФ (2) |