Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Электронный каталог - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

В текущей базе данных найдено документов :1

В других БД по вашему запросу найдено:

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>U=621.382.049.77(076.5)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

A964918-ОХФ
Астахова, Нелли Андреевна.
Ионно-плазменные процессы в технологии интегральных микросхем [Текст] : лаб. практикум по курсу "Технология интегральных полупроводниковых схем" / Н. А. Астахова ; под ред. М. Г. Путри ; М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : МИЭТ [изд.], 2002. - 47, [1] с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN [Б. и.] : 25.00 р.

УДК

621.382.049.77(076.5)

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- травление ионно-плазменное -- плазмохимическое травление -- реактивное ионное травление

Доп. точки доступа:
Путри, М. Г.
Экземпляры всего: 1
ОХФ (1)
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)