| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>A=Данилин, Б. С.$<.>)
Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5
1.

    Данилин, Б. С.
    Основы конструирования вакуумных систем [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин, В. Е. Минайчев; под ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1971. - 392 с. : ил., табл. ; 21 см. - Библиогр.: с. 386-391. - 1.27 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: ХОЛОДИЛЬНАЯ ТЕХНИКА--ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА

Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- МЕТАЛЛЫ И СПЛАВЫ -- ОТКАЧНЫЕ СРЕДСТВА -- КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ АППАРАТУРА -- ЛОВУШКИ -- ЗАГРУЗОЧНЫЕ УСТРОЙСТВА -- КОНСТРУИРОВАНИЕ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
Аннотация: Книга представляет собой практическое руководство по конструированию вакуумных систем. В ней изложены общие принципы конструирования вакуумной аппаратуры и описаны свойства материалов, используемых при ее изготовлении.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Минайчев, В. Е.
Нилендер, Р. А.
Найти похожие

2.

    Данилин, Б. С.
    Ионное травление микроструктур [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Советское радио, 1979. - 104 с. : ил. ; 20 см. - (Массовая библиотека инженера "Электроника"). - Библиогр.: с. 95. - 0.30 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ТРИОДНЫЕ СИСТЕМЫ -- ДИОДНЫЕ СИСТЕМЫ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ -- РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА
Аннотация: Рассматривается применение ионного травления в производстве микроэлектронных приборов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Киреев, В. Ю.
Найти похожие

3.

    Данилин, Б. С.
    Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин ; под ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1972. - 256 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 245-254. - 0.89 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Электровакуумные приборы

Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ -- КОНДЕНСАТОРЫ -- МИКРОСХЕМЫ
Аннотация: В книге рассмотрены области применения тонких пленок в производстве интегральных схем, взаимодействие остаточной среды с пленками в процессе их формирования. аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, пути улучшения параметров установок и повышения их производительности.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Нилендер, Р.А.
Найти похожие

4.

    Данилин, Б. С.
    Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин. - М. : Энергия, 1977. - 136 с. : ил. ; 20 см. - (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып. 10). - Библиогр.: с. 128-134 (108 назв.). - 0.42 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Электронные схемы

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
Аннотация: В книге рассмотрены наиболее широко распространенные вакуумные методы получения тонкопленочных слоев с помощью испарения и конденсации веществ в высоком вакууме и распыления ионной бомбардировкой.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

5.

    Данилин, Б. С.
    Вакуумное нанесение тонких пленок [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин ; под ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1967. - 311 с. : граф., рис., табл. ; 21 см. - Библиогр.: с. 304-311. - 1.10 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Физика--Физика твердого тела

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМНОЕ НАНЕСЕНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ИЗМЕРЕНИЕ ВАКУУМА -- ИСПАРИТЕЛИ -- ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
Аннотация: Рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемая при получении тонких пленок.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Нилендер, Р. А.
Найти похожие

 
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)