Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=дефекты шаблонов<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Таруи, Я.
Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Текст] / Я. Таруи ; пер. с япон. В. А. Лазарева ; под ред. В. Г. Ржанова. - М. : Радио и связь, 1985. - 480 с. : ил. ; 22см. - 2.70 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049.77

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС

Кл.слова (ненормированные):
сверхминиатюризация -- интегральные схемы -- полупроводниковые интегральные схемы -- электронно-лучевая литография -- электроны -- электроннооптические системы -- методы совмещения -- эффект близости -- искажения изображения -- компенсация изгибов пластины -- сканирование излучения -- перенос рисунков -- контроль шаблонов -- дефекты шаблонов -- электронорезисторы -- СБИС -- геттерирование -- сухое травление -- плазменное травление -- технология лазерного отжига
Аннотация: Рассмотрены методы электронно-лучевой,фото-и рентгеновской литографии,применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем.Дана классификация различных типов дефектов,методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов.Обсуждаются принципы работы технологического и контрольно-измерительного оборудования,а также способы повышения качества шаблонов и структур СБИС.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Лазарев, В. А.
Ржанов, В. Г.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)