Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>KL=ИОННОЛУЧЕВАЯ ТЕХНИКА<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Иванов, Р. Д.
Катодный метод создания пленочных элементов микросхем [Текст] : научное издание / Р. Д. Иванов. - М. : Энергия, 1972. - 112 с. : ил., табл. ; 20 см. - (Б-ка радиотехнолога ; вып. 1). - Библиогр.: с. 105-109 (101 назв.). - 0.32 р.

ГРНТИ	47.33
УДК	621.382

Рубрики: Электроника--Электронные приборы

Кл.слова (ненормированные):
КАТОДНЫЙ МЕТОД -- ПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОСХЕМ -- ИОННОЛУЧЕВАЯ ТЕХНИКА -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Аннотация: В книге детально рассмотрен катодный метод получения пленок, описаны его разновидности, дан краткий анализ промышленной аппаратуры для получения пленочных элементов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)