Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>KL=ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5

Мокеев, О. К.
Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебник / О. К. Мокеев. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1985. - 312 с. : ил. ; 20см. - ISBN 4 : 0.60 р.

ГРНТИ	47.03.05.01.33	47.33.37.01.33
УДК	621.382.002+621.382.049.77(075.3)

ББК 32.852

Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы--Микроминиатюрные полупроводниковые приборы

Кл.слова (ненормированные):
фильтры -- фильтрация -- эмульсия -- адсорбция газов -- фотолитография -- ионное травление -- фотошаблоны
Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитогрфии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства их контроля, оборудование. Во втором издании (1-е - в 1979 г.) описаны сухое травление рабочих материалов, а также методы электронно- и рентгенолитографии.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Данилин, Б. С.
Ионное травление микроструктур [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Советское радио, 1979. - 104 с. : ил. ; 20 см. - (Массовая библиотека инженера "Электроника"). - Библиогр.: с. 95. - 0.30 р.

ГРНТИ	47.33.31
УДК	621.382.049

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ТРИОДНЫЕ СИСТЕМЫ -- ДИОДНЫЕ СИСТЕМЫ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ -- РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА
Аннотация: Рассматривается применение ионного травления в производстве микроэлектронных приборов.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Киреев, В. Ю.
Найти похожие

Сушенцов, Н. И.
Основы технологии микроэлектроники [Текст] : лаб. практикум / Н. И. Сушенцов, В. Е. Филимонов ; Мар. гос. техн. ун-т (Йошкар-Ола). - 3-е изд., перераб. и доп. - Йошкар-Ола : МарГТУ, 2005. - 184 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 184 (9 назв.). - ISBN 5-8158-0366-9 : 40.00 р.
Гриф: допущено УМО по образованию в обл. радиотехники, электроники, биомед. техники и автоматизации в качестве лаб. практикума для студ. вузов, обучающихся по спец. 200800, 220500 и направлениям 551100, 654300.

ГРНТИ	47.33.31.01.33
УДК	621.382.049.77(076)

ББК 32.844.1

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНЫЕ ЭЛЕКТРОУСТАНОВКИ -- ВАКУУМ -- РЕЗИСТИВНО-ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- СВЕРХПРОВОДНИКИ -- ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЕ СВЕРХПРОВОДНИКИ -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ДУГОВОЕ ИСПАРЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Аннотация: Представлены практические рекомендации по работе на вакуумных электроустановках. Изложены теоретические основы тонкопленочной микроэлектроники.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Филимонов, В. Е.
Найти похожие

Берлин, Е. В.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии [Текст] : справочное издание / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - М. : Техносфера, 2010. - 528 с. : ил. ; 25 см . - (Мир материалов и технологий). - ISBN 978-5-94836-222-9 : 605.00 р.

ГРНТИ	55.21.01.33
УДК	621.7/9(083)

ББК 30.61

Рубрики: Обработка материалов--Плазменная обработка

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПРОЦЕССЫ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- МАГНЕТРОН -- ПЛАЗМА -- ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация: Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.

Доп. точки доступа:
Сейдман, Л. А.
Найти похожие

Плешивцев, Н. В.
Катодное распыление [Текст] : монография / Н. В. Плешивцев. - М. : Атомиздат, 1968. - 343 с. : ил., табл. ; 22 см. - Библиогр.: с. 297-334 (742 назв.). - Предм. указ.: с. 335-339. - 1.73 р.

ГРНТИ	29.19
УДК	537.525

Рубрики: Физика--Электричество

Кл.слова (ненормированные):
ЭМИТТИРОВАННЫЕ ЧАСТИЦЫ -- КОЭФФИЦИЕНТ РАСПЫЛЕНИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Аннотация: В книге дается обзор экспериментальных и теоретических исследований катодного распыления. Рассмотрены вопросы практического использования этого явления в науке и технике.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)