Web ИРБИС


	\| начало \| написать нам \| в избранное \| сделать стартовой \|

ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных

Электронный каталог - результаты поиска

Виды поиска

Электронный каталог

ЭБС "ЛАНЬ"

ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")

Электронная библиотека

Известные деятели культуры в Саратовской губернии

Работы В. А. Артисевич и литература о ней

Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья

Публикации учёных СГУ

Краеведческий обзор

Поступления журналов в ЗНБ СГУ

БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ

БД выпускных квалификационных работ

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)

Область поиска

В текущей базе данных найдено документов :1

В других БД по вашему запросу найдено:

Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) (1)

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>A=Хаханин, Сергей Юрьевич$<.>)

Общее количество найденных документов : 1

A477471-ОХФ
Хаханин, Сергей Юрьевич.
Научно-методические основы создания системы мониторинга безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.11.13 / С. Ю. Хаханин ; Федер. гос. учреждение Науч.-произв. комплекс "Технологический центр" МИЭТ, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : [б. и.], 2011. - 42, [3] с. : граф., рис. - Библиогр.: с. 37-42. - ISBN [Б. и.]
Для служеб. пользования

УДК

621.382(043.3)

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
полупроводниковые структуры -- безотходные технологии -- микроэлектроника -- очистка поверхности -- мониторинг -- контроль -- рекуперация -- технологические процессы (ТП)

Экземпляры всего: 1
ОХФ (1)
Найти похожие

Стандартный (по одному полю)

По словарю (по одному полю)

Профессиональный (по нескольким полям со словарями)

Распределенный (г. Саратов)

Расширенный

Авторизация

Фамилия

Пароль

Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)