A477471-ОХФ Хаханин, Сергей Юрьевич. Научно-методические основы создания системы мониторинга безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.11.13 / С. Ю. Хаханин ; Федер. гос. учреждение Науч.-произв. комплекс "Технологический центр" МИЭТ, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : [б. и.], 2011. - 42, [3] с. : граф., рис. - Библиогр.: с. 37-42. - ISBN [Б. и.] Для служеб. пользования
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые структуры -- безотходные технологии -- микроэлектроника -- очистка поверхности -- мониторинг -- контроль -- рекуперация -- технологические процессы (ТП) Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |