| начало | написать нам | в избранное | сделать стартовой |
ДЛЯ РАБОТЫ С БАЗАМИ ОГРАНИЧЕННОГО ДОСТУПА ТРЕБУЕТСЯ АВТОРИЗАЦИЯ
ДАННАЯ ВЕРСИЯ СИСТЕМЫ НЕ ПОДДЕРЖИВАЕТСЯ!!! БАЗЫ НЕ ОБНОВЛЯЮТСЯ!!! ПОЛЬЗУЙТЕСЬ НОВОЙ ВЕРСИЕЙ ПОИСКОВОЙ СИСТЕМЫ!!! >>>

Базы данных


Электронный каталог - результаты поиска

Виды поиска
Электронный каталог
ЭБС "ЛАНЬ"
ЭБС "ZNANIUM.com" (ИД "ИНФРА-М")
ЭБС "ЮРАЙТ"
ЭБС "АЙБУКС"
ЭБС "РУКОНТ"
ЭБС "IPRBOOKS"
ЭБС "BOOK.ru"
Электронная библиотека
Известные деятели культуры в Саратовской губернии
Работы В. А. Артисевич и литература о ней
Издания вузовских библиотек Среднего и Нижнего Поволжья
Публикации учёных СГУ
Краеведческий обзор
Поступления журналов в ЗНБ СГУ
БД коллекций в фонде ЗНБ СГУ
БД выпускных квалификационных работ
Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС)
Область поиска
В текущей базе данных найдено документов :2
 В других БД по вашему запросу найдено:Сводный каталог библиотек (СГУ, СГТУ, ЦБС) (3)
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>KL=плазмохимическое травление<.>)
Общее количество найденных документов : 2
Показаны документы с 1 по 2
1.
A964918-ОХФ
    Астахова, Нелли Андреевна.
    Ионно-плазменные процессы в технологии интегральных микросхем [Текст] : лаб. практикум по курсу "Технология интегральных полупроводниковых схем" / Н. А. Астахова ; под ред. М. Г. Путри ; М-во образования Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : МИЭТ [изд.], 2002. - 47, [1] с. - Библиогр. в конце разд. - ISBN [Б. и.] : 25.00 р.
УДК
621.382.049.77(076.5)

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
интегральные микросхемы -- травление ионно-плазменное -- плазмохимическое травление -- реактивное ионное травление


Доп. точки доступа:
Путри, М. Г.
Экземпляры всего: 1
ОХФ (1)
Найти похожие
2.
A982546-ОХФ, A983066-ОХФ, A983067-ОХФ
    Яфаров, Равиль Кяшшафович.
    Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий [Текст] / Р. К. Яфаров. - Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2009. - 216 с. - Библиогр.: с. 205-216 (218 назв.). - ISBN 978-5-9221-1150-8 (в пер.) : 180.00 р.
УДК
621.385.6-022.532
533.9

Рубрики: радиотехника.электроника--электронные приборы

   физика--физика плазмы

Кл.слова (ненормированные):
плазменные устройства -- нанотехнологии -- СВЧ-плазма -- микроволновые устройства -- плазмотроны -- плазмохимическое травление -- кремниевые структуры -- плазмохимический синтез
Экземпляры всего: 3
ОХФ (3)
Найти похожие
 
Стандартный (по одному полю)
По словарю (по одному полю)
Профессиональный (по нескольким полям со словарями)
Распределенный (г. Саратов)
Расширенный
Авторизация
Фамилия
Пароль
 
Заявка на регистрацию в ЭБС

Возникли проблемы? Пишите на oma@info.sgu.ru
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)