Учебная литература, A988555-ОХФ, A988556-ОХФ, A996095-ОХФ, Лич, Ричард К.. Инженерные основы измерений нанометровой точности [Текст] : учеб. пособие / Р. К. Лич ; пер. с англ. А. В. Заблоцкого. - Долгопрудный : Издательский дом "Интеллект", 2012. - 400 с. : ил. - Библиогр.: с. 390-393 (55 назв.). - ISBN 978-5-91559-119-5 (в пер.) : 1246.30 р., 1589.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника метрология.стандартизация--метрология Кл.слова (ненормированные): нанотехнологии -- инженерная метрология -- нанометрология -- прецизионные средства измерений -- интерферометрия -- метрология поверхностей -- сканирующая зондовая микроскопия -- сканирующая электронная микроскопия -- координатная метрология -- измерения массы -- измерения силы Доп. точки доступа: Заблоцкий, А. В. Экземпляры всего: 32 ОХФ (3), ОУОЕН (29) |