A975281-ОХФ, Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твёрдых тел [Текст] : сб. ст. / сост., пер. с англ. под ред. Е. С. Машковой. - Москва : Мир, 1989. - 349, [3] с. : граф. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 346-349. - ISBN 5-03-000280-4 (в пер.) : 45.00 р.
Рубрики: физика--физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): твердые тела -- распыление -- многослойные покрытия -- поверхностные явления -- микроэлектроника -- материаловедение Доп. точки доступа: Машкова, Евгения Сергеевна Экземпляры всего: 2 ОХФ (2) |