A967191-ОХФ Киреев, Валерий Юрьевич. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы [Текст] / В. Ю. Киреев, А. А. Столяров. - Москва : Техносфера, 2006. - 190, [2] с. : табл. - (Мир электроники). - Библиогр.: с. 188-190 (52 назв.). - ISBN 5-94836-039-3 (в пер.) : 202.73 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- интегральные микросхемы -- химическое осаждение из газовой фазы -- пленки -- технология Доп. точки доступа: Столяров, Александр Александрович Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |