A951218-ОХФ
    Агеев, Олег Алексеевич.
    Физико-технологические основы формирования контактов к карбиду кремния методами импульсной термообработки [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / О. А. Агеев ; науч. консультант Д. А. Сеченов ; Таганрог. гос. радиотехн. ун-т. - Таганрог : Изд-во Таганрог. гос. радиотехн. ун-та, 2005. - 40 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 35-39 (51 назв.). - ISBN [Б. и.]
УДК

Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника

Кл.слова (ненормированные):
экстремальная электроника -- импульсная термообработка -- карбид кремния -- технологические процессы (ТП) -- контактные явления


Доп. точки доступа:
Сеченов, Д. А.
Экземпляры всего: 1
ОХФ (1)