A951121-ОХФ Любимский, Владимир Михайлович. Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоёв поликристаллического кремния [Текст] : автореф. дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01 / В. М. Любимский ; науч. консультант В. А. Гридчин ; Новосиб. гос. техн. ун-т. - Новосибирск : [б. и.], 2005. - 37, [1] с. - [Проблемы проектирования интегральных тензопреобразователей давления на основе слоев поликристаллического кремния] . - Библиогр.: с. 31-37 (66 назв.). - ISBN [Б. и.]
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): тензопреобразователи давления -- проектирование -- кремний поликристаллический -- сенсоры давления -- тензорезисторы -- тонкие пленки Доп. точки доступа: Гридчин, Виктор Алексеевич Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |