A873478-ОХФ Красников, Г. Я. Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС [Текст] : в 2 ч. / Г. Я. Красников, Н. А. Зайцев. - Москва : Микрон-Принт, 1999. Ч. 1. - Москва : Микрон-Принт, 1999. - 226 с. : ил. - Библиогр. - ISBN 5-93497-001-1 (в пер.) : 30.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) -- кремниевые микросхемы -- дефекты кристаллов -- технологические процессы (ТП) -- кремний -- контроль технологический -- кремния диоксид Доп. точки доступа: Зайцев, Н. А. Экземпляры всего: 1 ОХФ (1) |