A708887-ОХФ, A709877-ОХФ, A873315-ОХФ Броудай, Ивор. Физические основы микротехнологии [Текст] = The Physics of Microfabrication : учеб. пособие / И. Броудай, Д. Мерей ; . - Москва : Мир, 1985. - 494, [2] с. : ил. - Библиогр. - ISBN [Б. и.] (в пер.) : 35.00 р.
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): интегральные микросхемы -- пучки частиц -- тонкие пленки -- микроэлектроника -- субмикронная микроскопия -- микрозонды Доп. точки доступа: Мерей, Джоулис Экземпляры всего: 3 ОХФ (3) |