A856912-ОХФ, A856913-ОХФ Комаров, Фадей Фадеевич. Ионная имплантация [Текст] / Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, А. Ф. Буренков ; . - Минск : Унiверсiтэцкае, 1994. - 303 с. : ил. - Библиогр. - ISBN 985-09-0036-9 : 3000.00 р.
Рубрики: физика--строение материи Кл.слова (ненормированные): ионная имплантация -- твердые тела -- легирование ионов -- полупроводники -- ионно-лучевая обработка материалов Доп. точки доступа: Новиков, А. П. Буренков, А. Ф. Экземпляры всего: 2 ОХФ (2) |