Klimova, S. A. (доцент).     Influence of Microwave Plasma Microprocessing on the Electronic Properties of the (100)Si Surface [Текст] / S. A. Klimova, R. K. Yafarov // Technical Physics. - 2014. - Vol. 59, no. 3. - С. 411-415. - Оригинальная версия: Журнал технической физики. 2014. Т. 84. № 3. С. 103-107. Рубрики: физика ДОКУМЕНТ ПРОСМОТРЕН DE VISU: НЕТ Доп. точки доступа: Yafarov , R. K. (д-р физ.-мат. наук, профессор) Яфаров, Равиль Кяшафович