Новые поступления (книга в стадии обработки) Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники [Текст] : учеб.пособие для вузов / А.А.Сазонов,Р.В.Корнилов,Н.П.Кохан и др.;Под ред.А.А.Сазонова. - М. : Высшая школа, 1991. - 335 с. : ил. ; 20см. - ISBN 5-06-000731-6 : 1.60 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): тепловые процессы -- парогазовые смеси -- автоматизация производства -- информационно-измерительные системы -- управляющие устройства -- электроприводы Аннотация: Книга написана в соответствии с программами ряда дисциплин,таких как "Моделирование технологических процессов микроэлектроники", "Проектирование систем управления технологическим оборудованием микроэлектроники" и др.Материал может быть использован и при изучении вопросов автоматизации другого технологического оборудования. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Сазонов, А. А. Корнилов, Р. В. Кохан, Н. П. Лукичев, А. Ю. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Корнилов, Р. В. Расчет комплексов оборудования микроэлектроники [Текст] : научное издание / Р. В. Корнилов, В. Л. Сандеров. - М. : Энергия, 1979. - 104 с. : ил. ; 21 см. - 0.30 р.
Рубрики: Электроника--МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ Аннотация: Обосновывается целесообразность создания комплексов, приводятся технология и характеристики оборудования, дается классификация развития комплексов в автоматизированные поточные линии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Сандеров, В. Л. |