Новые поступления (книга в стадии обработки) Данилин, Б. С. Основы конструирования вакуумных систем [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин, В. Е. Минайчев; под ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1971. - 392 с. : ил., табл. ; 21 см. - Библиогр.: с. 386-391. - 1.27 р.
Рубрики: ХОЛОДИЛЬНАЯ ТЕХНИКА--ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- МЕТАЛЛЫ И СПЛАВЫ -- ОТКАЧНЫЕ СРЕДСТВА -- КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ АППАРАТУРА -- ЛОВУШКИ -- ЗАГРУЗОЧНЫЕ УСТРОЙСТВА -- КОНСТРУИРОВАНИЕ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ -- ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ -- ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ Аннотация: Книга представляет собой практическое руководство по конструированию вакуумных систем. В ней изложены общие принципы конструирования вакуумной аппаратуры и описаны свойства материалов, используемых при ее изготовлении. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Минайчев, В. Е. Нилендер, Р. А. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Данилин, Б. С. Ионное травление микроструктур [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев. - М. : Советское радио, 1979. - 104 с. : ил. ; 20 см. - (Массовая библиотека инженера "Электроника"). - Библиогр.: с. 95. - 0.30 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ТРИОДНЫЕ СИСТЕМЫ -- ДИОДНЫЕ СИСТЕМЫ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ -- РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА Аннотация: Рассматривается применение ионного травления в производстве микроэлектронных приборов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Киреев, В. Ю. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Данилин, Б. С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин ; под ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1972. - 256 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 245-254. - 0.89 р.
Рубрики: Электроника--Электровакуумные приборы Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ -- КОНДЕНСАТОРЫ -- МИКРОСХЕМЫ Аннотация: В книге рассмотрены области применения тонких пленок в производстве интегральных схем, взаимодействие остаточной среды с пленками в процессе их формирования. аппаратура для контроля скорости осаждения и толщины тонких пленок, пути улучшения параметров установок и повышения их производительности. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Нилендер, Р.А. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Данилин, Б. С. Получение тонкопленочных элементов микросхем [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин. - М. : Энергия, 1977. - 136 с. : ил. ; 20 см. - (Б-ка технолога радиоэлектронной аппаратуры ; вып. 10). - Библиогр.: с. 128-134 (108 назв.). - 0.42 р.
Рубрики: Электроника--Электронные схемы Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ Аннотация: В книге рассмотрены наиболее широко распространенные вакуумные методы получения тонкопленочных слоев с помощью испарения и конденсации веществ в высоком вакууме и распыления ионной бомбардировкой. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Данилин, Б. С. Вакуумное нанесение тонких пленок [Текст] : научное издание / Б. С. Данилин ; под ред. Р. А. Нилендера. - М. : Энергия, 1967. - 311 с. : граф., рис., табл. ; 21 см. - Библиогр.: с. 304-311. - 1.10 р.
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМНОЕ НАНЕСЕНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ИЗМЕРЕНИЕ ВАКУУМА -- ИСПАРИТЕЛИ -- ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ Аннотация: Рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемая при получении тонких пленок. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Нилендер, Р. А. |