Новые поступления (книга в стадии обработки) Мокеев, О. К. Технология полупроводникового производства [Текст] : учеб. пособие / О. К. Мокеев. - М. : Высшая школа, 1984. - 176 с. : ил. ; 20см. - 0.20 р.
Рубрики: Электроника--Технология производства Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- полупроводниковая схемотехника -- полупроводниковая электроника -- полупроводниковые генераторы -- полупроводниковые диоды -- полупроводниковые материалы -- механическая обработка полупроводников -- химическая обработка полупроводников -- ионная обработка полупроводников -- плазмохимическая обработка полупроводников -- эпитаксиальные пленки -- эпитаксия -- легирование -- ионное легирование Аннотация: В книге описаны основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов и микросхем. Рассмотрены процессы изготовления биполярного и МДП-транзисторов, а также интегральных микросхем на их основе. Пособие является программированным и содержит материал обеспечивающий самоконтроль усвоения информации и исправление ошибок, возникающих в процессе работы учащихся. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Мокеев, О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учебник / О. К. Мокеев. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1985. - 312 с. : ил. ; 20см. - ISBN 4 : 0.60 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы--Микроминиатюрные полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): фильтры -- фильтрация -- эмульсия -- адсорбция газов -- фотолитография -- ионное травление -- фотошаблоны Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитогрфии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства их контроля, оборудование. Во втором издании (1-е - в 1979 г.) описаны сухое травление рабочих материалов, а также методы электронно- и рентгенолитографии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Мокеев, О. К. Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем [Текст] : учеб. пособие / О. К. Мокеев, А. С. Романов. - М. : Высшая школа, 1979. - 272 с. : ил. ; 20 см. - (Профтехобразование. Радиоэлектроника). - 0.60 р. Гриф: одобрено Учен. советом Госкомитета СССР по проф.-техн. образованию в качестве учеб. пособия для ТУ
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые приборы Кл.слова (ненормированные): химические материалы -- органические растворители -- отмывка полупроводников -- полупроводники -- травление -- фотолитография Аннотация: В книге рассмотрены технологические процессы химической обработки, фотолитографии и изготовления фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Приведены основы теории этих процессов, методы и средства контроля качества обработки, технологические операции и оборудование. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Романов, А. С. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Еремин, С. А. Полупроводниковые диоды с накоплением заряда и их применение [Текст] : научное издание / С. А. Еремин, О. К. Мокеев, Ю. Р. Носов ; под ред. Ю. Р. Носова. - М. : Советское радио, 1966. - 152 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 150 (62 назв.). - 0.39 р.
Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- ДИОДЫ -- РАДИОЭЛЕКТРОНИКА -- ДИОДНЫЕ УСИЛИТЕЛИ Аннотация: Книга посвящена классу полупроводниковых приборов - диодам с накоплением заряда. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Мокеев, О. К. Носов, Ю. Р. Носов, Ю. Р. |