Новые поступления (книга в стадии обработки) Карбань, В. И. Обработка монокристаллов в микроэлектронике [Текст] / В. И. Карбань. - М. : Радио и связь, 1988. - 104 с. : ил. ; 21см. - (Массовая б-ка инженера "Электроника"). - ISBN 5-256-00139-6 : 0.40 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): электроника -- микроэлектроника -- монокристаллы -- обработка монокристаллов -- анизотропия обрабатываемости монокристаллов Аннотация: Изложены особенности обработки монокристаллов,имеющих широкое применение в микроэлектронике.Приведены основные процессы, инструменты и оборудование. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |