Новые поступления (книга в стадии обработки) МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов [Текст] : научное издание / под ред. П. Антонетти [и др.] ; пер. с англ.: В. Л. Кустова, В. М. Петрова, О. В. Селляховой. - М. : Радио и связь, 1988. - 496 с. : ил. ; 21см. - ISBN 5-256-00130-2 : 4.10 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): технология БИС и СБИС -- диффузия в кремнии -- ионная имплантация -- оптическая литография -- моделирование топографии Аннотация: Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем и электрических характеристик их основных элементов-МОП-транзисторов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Антонетти, П. Антониадис, Д. Даттон, Р. Оулдхем, У. Кустов, В. Л. Петров, В. М. Селляхова, О. В. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология СБИС [Текст] : в 2-х кн. / под ред. С. Зи; пер. с англ. под ред. Ю. Д. Чистякова. - М. : Мир, 1986. - 453 с. : ил. ; 23см. - 2.30 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): электроника -- интегральные микросхемы -- СБИС -- технология СБИС -- кремниевые ИС -- сухое травление -- металлизация -- металлизация ИС -- эпитаксия -- ионная имплантация -- диффузия -- окисление -- литография -- осаждение -- травление -- моделирование приборов -- топографирование -- герметизация -- герметизация Аннотация: Освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества,металлизации ИС,моделирования основных технологических процессов формирования ИС.Описаны основные технологические системы изготовления элементов СБИС,методы исследования и контроля технологических процессов,герметизация готовых ИС,тестирование и надежность готовых ИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Зи, С. |