Новые поступления (книга в стадии обработки) Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] / под ред. Дж. Р. Брюэра ; пер. с англ. Ф. П. Пресса = Electron-beam tehnology in microelectronic fabrication / edited by G. R. Brewer : научное издание. - М. : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 316-328. - 1.90 р. Тит. л. парал. на англ. яз.
Рубрики: Электроника--Электронно-лучевые приборы Кл.слова (ненормированные): ЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННЫЙ ЛУЧ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ УСТАНОВКИ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ ШАБЛОНОВ -- МЕТОДЫ РЕПРОДУЦИРОВАНИЯ Аннотация: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Брюэр, Дж. Р. Brewer G. R. Пресс, Ф. П. |