Новые поступления (книга в стадии обработки) Нашельский, А. Я. Технология полупроводниковых материалов [Текст] : учебное пособие для повышения квалификации ИТР / А. Я. Нашельский. - М. : Металлургия, 1987. - 336 с. : ил. ; 21см. - 0.65 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковые материалы Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- материалы полупроводникового производства -- поликристаллические полупроводники -- объемные монокристаллы полупроводников -- технология подложек -- технология эпитаксиальных структур Аннотация: Систематизированно изложены современные технологии важнейших полупроводниковых материалов,выращивание однородно легированных монокристаллов с совершенной структурой,получение высокочистых поликристалических полупроводников,эпитаксильных слоев,гомо- и гетероструктур методами газовой и жидкостной эпитаксии, изготовление пластин и подложек.Учебное пособие предназначено для повышения квалификации и переподготовки мастеров,начальников участков и цехов полупроводникового производства.Может быть полезна студентам вузов,обучающимся по специальностям:"Технология специальных материалов электронной техники","Полупроводники и диэлектрики","Полупроводниковые приборы". Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |