Новые поступления (книга в стадии обработки) Таруи, Я. Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Текст] / Я. Таруи ; пер. с япон. В. А. Лазарева ; под ред. В. Г. Ржанова. - М. : Радио и связь, 1985. - 480 с. : ил. ; 22см. - 2.70 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): сверхминиатюризация -- интегральные схемы -- полупроводниковые интегральные схемы -- электронно-лучевая литография -- электроны -- электроннооптические системы -- методы совмещения -- эффект близости -- искажения изображения -- компенсация изгибов пластины -- сканирование излучения -- перенос рисунков -- контроль шаблонов -- дефекты шаблонов -- электронорезисторы -- СБИС -- геттерирование -- сухое травление -- плазменное травление -- технология лазерного отжига Аннотация: Рассмотрены методы электронно-лучевой,фото-и рентгеновской литографии,применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем.Дана классификация различных типов дефектов,методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов.Обсуждаются принципы работы технологического и контрольно-измерительного оборудования,а также способы повышения качества шаблонов и структур СБИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Лазарев, В. А. Ржанов, В. Г. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология СБИС [Текст] : в 2-х кн. / под ред. С. Зи; пер. с англ. под ред. Ю. Д. Чистякова. - М. : Мир, 1986. - 453 с. : ил. ; 23см. - 2.30 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): электроника -- интегральные микросхемы -- СБИС -- технология СБИС -- кремниевые ИС -- сухое травление -- металлизация -- металлизация ИС -- эпитаксия -- ионная имплантация -- диффузия -- окисление -- литография -- осаждение -- травление -- моделирование приборов -- топографирование -- герметизация -- герметизация Аннотация: Освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества,металлизации ИС,моделирования основных технологических процессов формирования ИС.Описаны основные технологические системы изготовления элементов СБИС,методы исследования и контроля технологических процессов,герметизация готовых ИС,тестирование и надежность готовых ИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Зи, С. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология СБИС [Текст] : в 2 кн. / под ред. С. Зи [и др.] ; пер. с англ. В. Н. Лейкина. - М. : Мир, 1986. Кн. 2. - 1986. - 453 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 437-438. - 2.30 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- БИПОЛЯРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ Аннотация: В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС, методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Зи, С. \\ред.\\ Лейкин, В. Н. \\пер.\\ Чистяков, Ю. Д. \\ред.\\ Петров, В. Б. \\ред.\\ Эйдельман, Б. Л. \\ред.\\ |