Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [Текст] : в 10 кн. : учебник / А. И. Курносов. - М. : Высшая школа, 1989 - . Кн. 2 : Материалы. - 1989. - 96 с. : ил. ; 20см. - ISBN 5-06-000304-3 : 0.15 р.
Рубрики: Электроника--Полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- диэлектрики -- германий -- кремний -- фоторезисторы -- рентгенорезисторы -- электронорезисторы Аннотация: В книге описаны электротехнические свойства и строение материалов, используемых при производстве полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. Рассмотрены полупроводниковые материалы, приведены сведения о материалах, применяемых при их механической и химической обработке, фотолитографии, диффузии, защите и герметизации p-n- переходов, а также для изготовления конструктивных элементов корпусов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Курносов, А. И. |