Новые поступления (книга в стадии обработки) Таруи, Я. Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Текст] / Я. Таруи ; пер. с япон. В. А. Лазарева ; под ред. В. Г. Ржанова. - М. : Радио и связь, 1985. - 480 с. : ил. ; 22см. - 2.70 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): сверхминиатюризация -- интегральные схемы -- полупроводниковые интегральные схемы -- электронно-лучевая литография -- электроны -- электроннооптические системы -- методы совмещения -- эффект близости -- искажения изображения -- компенсация изгибов пластины -- сканирование излучения -- перенос рисунков -- контроль шаблонов -- дефекты шаблонов -- электронорезисторы -- СБИС -- геттерирование -- сухое травление -- плазменное травление -- технология лазерного отжига Аннотация: Рассмотрены методы электронно-лучевой,фото-и рентгеновской литографии,применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем.Дана классификация различных типов дефектов,методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов.Обсуждаются принципы работы технологического и контрольно-измерительного оборудования,а также способы повышения качества шаблонов и структур СБИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Лазарев, В. А. Ржанов, В. Г. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Практикум по волновой электронике и микроэлектронике [Текст] : физика и технология современной микроэлектроники. . Ч. 2 / З. А. Буянова [et al.] ; ред.: Ю. В. Гуляев, Н. И. Синицын ; Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского. - Саратов : Издательство Саратовского национального государственного университета имени Н. Г. Чернышевского, 2000. - 80 с. : ил. - ISBN 5-292-02528-3 : 6.00 р. Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника Кл.слова (ненормированные): СВЧ -- барьер мотта -- вакуум -- дискретная микроэлектроника -- квантование -- микроэлектроника -- моделирование приборов -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- наноструктуры -- наноэлектроника -- плазма -- плазменное травление -- плазмо-химические технологии -- пленки -- полупроводники -- полупроводниковые лазеры -- практикумы -- термическое напыление -- термоэлектронная эмиссия -- транзисторы -- электроника -- электронно-лучевая литография -- эффект шоттки Аннотация: Представлены работы связанные с изучением особенностей жидкофазной,молекулярно-лучевой эпитаксии,СВЧ-вакуумной и плазмохимической технологии,а также моделированием приборов СВЧ-микроэлектроники. Держатели документа: Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Буянова, З. А. Веселов, А. Г. Князев, С. А. Петросян, В. И. Синицын, Н.И. Гуляев, Ю.В. Синицын, Н.И. |