Новые поступления (книга в стадии обработки) Практикум по волновой электронике и микроэлектронике [Текст] : технология микроэлектроники. . Часть 3 / Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского ; ред.: Ю. В. Гуляев, Н. И. Синицын. - Саратов : Издательство Саратовского национального государственного университета имени Н. Г. Чернышевского, 2000. - 62 с. - ISBN 5-292-02569-0 : 6.00 р. Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника Кл.слова (ненормированные): алюминий -- вакуум -- вакуумные схемы -- волновая электроника -- интегральные схемы -- кремнийсодержащие материалы -- магнетронное распыление -- микроэлектроника -- оксид алюминия -- оксиды -- плазма -- плазменное распыление -- пленки -- свч -- свч-плазма -- сложные структуры -- травление -- физико-химические методы Аннотация: Представлены работы связанные с изучением особенностей плазмохимической технологии травления кремнийсодержащих материалов Держатели документа: Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Буянова, З. И. Захарченко, Ю. Ф. Князев, С. А. Синицын, Н. И. Гуляев, Ю. В. Синицын, Н. И. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Семенов, Анатолий Степанович. СВЧ - энергия и ее применение [Текст] : особенности, оборудование, технологические процессы / А. С. Семенов, В. Б. Байбурин. - Саратов : Издательство Саратовского национального государственного университета имени Н. Г. Чернышевского, 1999. - 116 с. : ил. - 25.00 р. Библиогр.:с.107-114.-Обязательный экз. Рубрики: Радиоэлектроника--Электроника Кл.слова (ненормированные): биология -- интегральные схемы -- конденсированные среды -- кремнийсодержащие материалы -- литография -- магнетроны -- материалы -- медицина -- микроэлектроника -- наноэлектроника -- очистка -- пассивация -- пищевая промышленность -- пленки -- полиграфия -- полупроводниковые схемы -- приборы электронно-вакуумные приборы -- регенерация приборов -- резиновая промышленность -- резисты -- свч -- свч-плазма -- сгу -- сельское хозяйство -- сельскохозяйственная промышленность -- спектральный анализ -- среды -- строительство -- текстильная промышленность -- углерод -- фармацевтика -- фоторезисторы -- экология -- электровакуумные приборы -- электромагнитная энергия -- электромагнитные волны -- электронная промышленность -- электронные приборы Аннотация: На уровне качественных механизмов описаны основные особености взаимодействия электромагнитных волн СВЧ-диапозона с различными материалами и средами. Рассмотрены примеры практического использования СВЧ-энергии в различных отраслях промышленности, сельском хозяйстве, медицине, биологии. Для специалистов, научных работников. Держатели документа: Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Байбурин, Вил Бариевич |