Новые поступления (книга в стадии обработки) Абрамова, Н. А. Тонкослойная электрическая изоляция [Текст] : учеб. пособие / Н. А. Абрамова, С. Н. Койков ; Ленинградский политехн. ин-т им. М. И. Калинина. - Л. : ЛПИ, 1987. - 71 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 69. - 0.20 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- литография -- диффузия -- диффузия примесей -- термическое испарение -- термическое окисление -- ионно-плазменное напыление -- электрическая изоляция Аннотация: Излагаются физические принципы основных технологических процессов, используемых для получения тонких диэлектрических, полупроводниковых и металлических слоев и слоистых систем: термическое окисление, катодное и ионно-плазменное испарение, диффузия и ионная имплантация примесей, литография и др. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Койков, С. Н. |