Новые поступления (книга в стадии обработки) Румак, Н. В. Компоненты МОП-интегральных микросхем [Текст] / Н. В. Румак ; под ред. А. П. Достанко. - Минск : Навука i тэхнiка, 1991. - 311 с. : ил. ; 20см. - ISBN 5343008240 : 2.30 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): кремниевые пластины -- затворы -- контакты -- межсоединения -- изоляция межслойная -- изоляция межкомпонентная Аннотация: Изложены данные о влиянии условий получения на структуру и свойства основных компонентов МОП-интегральных микросхем: кремниевых подложек, подзатворных диэлектриков, пленок затвора, межслойной и межкомпонентной изоляции, контактов и межсоединений. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Достанко, А. П. |