Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология тонких пленок [Текст] : справочник / Л. Майссел [и др.]. - М. : Советское радио, 1977 - . Т. 1. - 1977. - 664 с. : ил. ; 21см. - 4.02 р., 25.00 р.
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- изготовление тонких плёнок -- вакуумное испарение -- техника высокого вакуума -- ионная бомбардировка -- распыление -- распыление материалов -- ионное распыление Аннотация: Справочник по технологии тонких плёнок - наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким плёнкам твёрдых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издаётся в двух томах. В т.1 включены гл.1-7, в т.2-гл.8-21. В т.1 справочника читатель найдёт исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких плёнок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения плёнок путём ионного распыления); технологические разъёмы, а также параметры необходимой аппаратуры. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких плёнок. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Майссел, Л. Глэнг, Р. Елинсон, М. И. Смолко, Г. Г. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Иванов, Р. Д. Магнитные металлические пленки в микроэлектронике [Текст] / Р. Д. Иванов. - М. : Советское радио, 1980. - 192 с. : ил. ; 20см. - 0.60 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): вакуумное испарение -- электролитическое осаждение -- катодное распыление -- магнитопленочные элементы -- магнитостатические свойства -- микроэлектроника -- цилиндрические магнитные домены -- аморфные магнитные материалы -- электрический заряд -- старение магнитных пленок -- отжиг -- микроэлектронные устройства -- запоминающие устройства Аннотация: Рассмотрены основные этапы формирования металлических пленок. Достаточно подробно описаны основные методы нанесения пленок: вакуумное испарение, электролитическое осаждение, катодное распыление. Приведены магнитостатические, электрические, структурные, механические свойства магнитных металлических пленок, а также режимы получения пленок для использования их в технике. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |