Новые поступления (книга в стадии обработки) Вакуумная технология и оснастка [Текст] : материалы конференции / Московский гос. ун-т. Междунар. конференция (29-30 октября 1998 г. ; г. Паневежис (Литва)) ; ред. А. С. Черниенко. - М. : Изд-во МГУ, 1999. - 111 с. : ил. ; 29см. - ISBN 5211042158 : 15.00 р.
Рубрики: Конференции--Материалы конференций Электроника--Электронные приборы--Вакуумная техника Кл.слова (ненормированные): конференция -- вакуумная оснастка -- вакуумная технология -- электромагнитные поля -- конденсаты -- термоизолирующие покрытия Аннотация: В конференции работали секции:вакуумная технология-по проблемам тонких пленок,влияния технологических параметров на их свойства, создания структур,конструкций,технологий и исследования электронных приборов и их элементов.Вакуумная оснастка-по проблемам систем и элементов создания вакуума,оснастки вакуумных систем для изготовления тонких пленок и элементов электронных приборов,создания и исследования методов и средств измерения и управления. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Черниенко, А. С. |