Новые поступления (книга в стадии обработки) Хаханин, Сергей Юрьевич. Научно-методические основы создания системы мониторинга безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук : 05.11.13 / С. Ю. Хаханин ; Федер. гос. учреждение Науч.-произв. комплекс "Технологический центр" МИЭТ, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - Москва : [б. и.], 2011. - 42, [3] с. : граф., рис. - Библиогр.: с. 37-42. - ISBN [Б. и.] Для служеб. пользования
Рубрики: радиотехника.электроника--полупроводниковая электроника Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые структуры -- безотходные технологии -- микроэлектроника -- очистка поверхности -- мониторинг -- контроль -- рекуперация -- технологические процессы (ТП) Держатели документа: Зональная научная библиотека имени В. А. Артисевич ФГБОУ ВО СГУ имени Н. Г. Чернышевского |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Серпионова, Е. Н. Промышленная адсорбция газов и паров [Текст] : учеб. пособие / Е. Н. Серпионова. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высшая школа, 1969. - 414 с. : ил., табл. ; 21 см. - 0.83 р. Гриф: допущено М-вом высш. и сред. спец. образования СССР в качестве учеб. пособия для студ. химико-технологич. спец. вузов
Кл.слова (ненормированные): АДСОРБЕНТЫ -- ЛЕТУЧИЕ РАСТВОРИТЕЛИ -- ДИФФУЗИЯ ГАЗОВ -- ДИФФУЗИЯ ПАРОВ -- ТЕПЛОВЫЕ РАСЧЕТЫ -- АДСОРБЦИОННЫЕ УСТАНОВКИ -- РЕКУПЕРАЦИЯ -- ОЧИСТКА ГАЗОВ -- ОСУШКА ГАЗОВ Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |