Новые поступления (книга в стадии обработки) Зорин, Е. И. Ионное легирование полупроводников [Текст] : научное издание / Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И. Тетельбаум. - М. : Энергия, 1975. - 128 с. : рис., табл. ; 20 см. - (Б-ка радиотехнолога ; вып. 6). - Библиогр.: с. 120-128. - 0.39 р.
Рубрики: Электротехника--Электрические материалы Кл.слова (ненормированные): ПРОБЕГИ ИОНОВ -- ПРИМЕСНЫЕ АТОМЫ -- АМОРФИЗАЦИЯ -- ИОННО-ЛЕГИРОВАННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ -- СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ Аннотация: Посвящена физическим основам и применению ионного легирования полупроводников. Кратко излагаются теоретические и экспериментальные данные о пробегах и распределении ускоренных ионов в твердых телах. Освещен вопрос о влиянии радиационных дефектов на диффузию внедренной примеси. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Павлов, П. В. Тетельбаум, Д. И. |