Новые поступления (книга в стадии обработки) Минаков, В. И. Производство тонкопленочных микросхем [Текст] : учеб. пособие / В. И. Минаков, М. З. Коган. - Л. : Энергия. Ленингр. отд-ние, 1973. - 175 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 174. - 0.38 р. Гриф: одобрено Учен. Сов. Госкома Совмина СССР по проф.-техн. образованию в качестве учеб. пособия для подгот. рабочих на пр-ве
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНОЧНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- КОНСТРУКЦИИ МИКРОСХЕМ -- ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ -- ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- КОНТРОЛЬ ПРОИЗВОДСТВА -- ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- ОРГАНИЗАЦИЯ ПРОИЗВОДСТВА Аннотация: В книге в доступной форме изложены методы получения тонких пленок, даны основные понятия о конструкции и и технологии изготовления элементов тонкопленочных микросхем и сведения о материалах и оборудовании, применяющихся в пленочной микроэлектронике. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Коган, М. З. |