Новые поступления (книга в стадии обработки) Берри, Р. Тонкопленочная технология [Текст] : научное издание / Р. Берри, П. Холл, М. Гаррис ; пер. с англ.: В. И. Генкина, Е. И. Гиваргизова. - М. : Энергия, 1972. - 336 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 329-335. - 1.50 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ПОДЛОЖКИ -- ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК -- ПЛЕНОЧНЫЕ РЕЗИСТОРЫ -- ПРОВОДЯЩИЕ ПЛЕНКИ -- ПЛЕНОЧНЫЕ КОНДЕНСАТОРЫ Аннотация: В книге описан ряд важнейших технологических процессов, в том числе получение тонких пленок катодным распылением, подготовка подложек для микроэлектронных схем, создание микроэлектронных рельефов, присоединение выводов, конструирование и методы промышленного производства тонкопленочных схем и применяемое для этих целей оборудование. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Холл, П. Гаррис, М. Генкин, В. И. Гиваргизов, Е. И. |