Новые поступления (книга в стадии обработки) МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов [Текст] : научное издание / под ред. П. Антонетти [и др.] ; пер. с англ.: В. Л. Кустова, В. М. Петрова, О. В. Селляховой. - М. : Радио и связь, 1988. - 496 с. : ил. ; 21см. - ISBN 5-256-00130-2 : 4.10 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): технология БИС и СБИС -- диффузия в кремнии -- ионная имплантация -- оптическая литография -- моделирование топографии Аннотация: Книга представляет собой сборник лекций, прочитанных известными специалистами из многих стран на симпозиуме по математическому моделированию технологических процессов изготовления кремниевых интегральных схем и электрических характеристик их основных элементов-МОП-транзисторов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Антонетти, П. Антониадис, Д. Даттон, Р. Оулдхем, У. Кустов, В. Л. Петров, В. М. Селляхова, О. В. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Плазменная технология в производстве СБИС [Текст] / под ред.: Н. Айнспрука, Д. Брауна ; пер. с англ. : Ю. М. Золотарева, В. В. Юдина. - М. : Мир, 1987. - 469 с. : ил. ; 22см. - Библиогр.: с. 461. - 3.40,38.00 р. Пред.-имен. указ. с.: 463
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): диффузионный барьер -- силициды -- металлизация затвора -- травление -- параметры -- интегральные микросхемы -- СБИС -- осаждение -- литография -- ионно-плазменные методы -- флюоресценция -- излучение -- лазер -- масс-спектрометрия -- механизм травления -- оптическая литография Аннотация: Рассмотрены вопросы физики,химии и технологии применения плазменной обработки в производстве СБИС.Книга является своеобразной энциклопедией по физике и химии процессов осаждения,литографии и травления с применением ионно-плазменных методов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Айнспрук, Н. Браун, Д. Золотарев, Ю. М. Юдин, В. В. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Хорин, И. А. Технологии электронной компонентной базы [Текст] : учеб. пособие / И. А. Хорин. - Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. - 280 с. : ил. ; 22 см. - (Университетский учебник). - Библиогр.: с. 275-276 (27 назв.). - ISBN 978-5-4486-0210-8 : 50.00 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКИЕ ОТЖИГИ -- МИКРОСХЕМЫ -- НАНОСТРУКТУРЫ -- ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- КРЕМНИЙ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ -- ТОЛСТОПЛЕНОЧНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ Аннотация: В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги. сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии "Кремний на изоляторе" и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. |