Новые поступления (книга в стадии обработки) Галперин, В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [Текст] : учеб. пособие / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. - 283 с. : ил. ; 22 см. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280 (96 назв.). - ISBN 978-5-9963-0032-7 : 395.16 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Нанотехнологии Физика--Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ -- КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ Аннотация: В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных упьтрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля н диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем н микромеханики. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Данилкин, Е. В. Мочалов, А. И. Тимошенков, С. П. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Бугаев, В. К. Территориальная структура экономического района [Текст] : теоретико-методологические аспекты / В. К. Бугаев ; под ред. А. И. Чистобаева ; Акад. наук СССР (Москва). - Л. : Наука, 1986. - 166 с. : табл., рис. ; 20 см. - Библиогр.: с. 157-165 . - 1.50 р.
Рубрики: Экономика--Экономика СССР Кл.слова (ненормированные): ТЕРРИТОРИАЛЬНАЯ СТРУКТУРА -- МЕЖОТРАСЛЕВЫЕ ПОДСИСТЕМЫ -- ОБЩЕСТВЕННОЕ ПРОИЗВОДСТВО -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- ЭКОНОМИЧЕСКИЕ РАЙОНЫ -- ТЕРРИТОРИАЛЬНО-ПРОИЗВОДСТВЕННЫЕ КОМПЛЕКСЫ -- АДМИНИСТРАТИВНО-ТЕРРИТОРИАЛЬНОЕ ДЕЛЕНИЕ -- ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ГЕОГРАФИЯ -- РЕГИОНАЛЬНАЯ ЭКОНОМИКА Аннотация: Рассматриваются характерные черты экономического района как научной категории и объекта управления. Раскрывается содержание территориальной структуры общественного производства. Классифицируются элементы и подсистемы экономического района, показываются особенности разных классов и видов территориальных подсистем. Вносятся предложения по совершенствованию административно-территориального и экономического деления страны. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Чистобаев, А. И. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Новое в зарубежной лингвистике [Текст] : прикладная лингвистика. Вып. XII / ред. Б. Ю. Городецкий . - Москва : Радуга, 1983. - 460 с. - На русском языке. - 2.80 р. Рубрики: Языкознание--Языки мира Кл.слова (ненормированные): анализ языка -- вербализация -- грамматика -- диалоги -- зарубежная лингвистика -- знания -- инженерная психология -- иностранные языки -- интегральные системы -- интегральные системы -- лексика -- лингвистика -- лингвистика зарубежная -- лингвистика новая -- лингвистика прикладная -- место лингвистики в системе наук -- новая лингвистика -- прикладная лингвистика -- проблемы лингвистики -- психология инженерная -- семантика -- семантические сети -- умозаключения Держатели документа: Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Городецкий, Б. Ю. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Монастырский, И. М. Информационно-поисковые системы [Текст] : учебник для техникумов / И. М. Монастырский. - Москва : Экономика, 1983. - 208 с. - Библиогр.: с. 200-201. - Предм. указ.: с. 202. - 0.40 р. Рубрики: Научно-информационная деятельность--Общие вопросы научно-информационной деятельности Кл.слова (ненормированные): виды документов -- интегральные системы -- информатика -- информационно-поисковые системы -- информационно-поисковые языки -- информационный поиск -- ипс -- оценка эффективности -- теоретические основы -- теория -- учебники для техникумов -- языки Аннотация: Рассматриваются теоретические основы информационного поиска, раскрываются особенности построения информационно-поисковых систем. Держатели документа: Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) |