Новые поступления (книга в стадии обработки) Парфенов, О. Д. Технология микросхем [Текст] : учеб. пособие / О. Д. Парфенов. - М. : Высшая школа, 1986. - 320 с. : ил. ; 22см. - 1.10 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--Технология производства Кл.слова (ненормированные): автоматизированные рабочие места -- автолегирование -- вжигание паст -- гетероэпитаксия -- скрайбирование пластин Аннотация: В книге рассмотрены: технология полупроводниковых интегральных микросхем, гибридных пленочных микросхем, сборка микросхем. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия [Текст] : научное издание / И. М. Скворцов [и др.]. - М. : Энергия, 1978. - 136 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр.: с. 129-131. - 0.50 р.
Рубрики: Электротехника--Полупроводники Кл.слова (ненормированные): ГАЗОРАСПРЕДЕЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ГАЗОВОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- АВТОЛЕГИРОВАНИЕ -- ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ СЛОИ Аннотация: Рассмотрены вопросы эпитаксиальной технологии, требования к эпитаксиальным слоям кремния и германия, технологические приемы и аппаратура, обеспечивающие выполнение этих требований и получение эпитаксиальных слоев с заданными свойствами. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Скворцов, И. М. Лапидус, И. И. Орион, Б. В. Кожитов, Л. В. |