Новые поступления (книга в стадии обработки) Системы управления лучевых технологических установок [Текст] / В. М. Спивак [и др.]. - Киев : Тэхника, 1988. - 272 с. ; 21см. - ISBN 5-335-00061-9 : 1.30 р.
Рубрики: Электроника--Квантовая электроника--Лучевые установки Кл.слова (ненормированные): электронно-лучевые установки -- лучевые установки -- технологические установки -- системы управления -- микропроцессорные системы -- схемы энергокомплексов -- электроприводы -- цифровые генераторы Аннотация: Приведены порядок расчета и рекомендации по конструированию, а также практические схемы цифровых систем управления лучевых технологических установок, предназначенных для электронно-лучевой и лазерной сварки, ионного напыления, термической обработки материалов и др. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Спивак, В. М. Терещенко, Т. А. Шелягин, В. Д. Младенов, Г. М. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Грубер, Г. Плавка металлов электронным лучом [Текст] / Г. Грубер под ред. Н. Г. Сушкина ; пер. с нем. Б. В. Линчевского = Das schmelzen von metallen min elektronenstrahlen / H. Gruber : научное издание. - М. : Изд-во "Иностр. лит.", 1963. - 70 с. : рис., табл. ; 20 см. - (Металлы в новой технике). - Библиогр.: с. 66-69 (82 назв.) . - 0.23 р. Тит. л. парал. на нем. яз.
Кл.слова (ненормированные): МЕТАЛЛУРГИЯ -- ЛИТЕЙНОЕ ПРОИЗВОДСТВО -- ПЛАВКА МЕТАЛЛА -- ПЛАВИЛЬНЫЕ ПЕЧИ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ПЛАВКА -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ УСТАНОВКИ -- ДУГОВЫЕ ВАКУУМНЫЕ ПЕЧИ Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Сушкин, Н. Г. Линчевский, Б. В. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов [Текст] / под ред. Дж. Р. Брюэра ; пер. с англ. Ф. П. Пресса = Electron-beam tehnology in microelectronic fabrication / edited by G. R. Brewer : научное издание. - М. : Радио и связь, 1984. - 336 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 316-328. - 1.90 р. Тит. л. парал. на англ. яз.
Рубрики: Электроника--Электронно-лучевые приборы Кл.слова (ненормированные): ЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННЫЙ ЛУЧ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ УСТАНОВКИ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ ШАБЛОНОВ -- МЕТОДЫ РЕПРОДУЦИРОВАНИЯ Аннотация: Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок, тенденции их усовершенствования. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Брюэр, Дж. Р. Brewer G. R. Пресс, Ф. П. |