Новые поступления (книга в стадии обработки) Панфилов, Ю. В. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы [Текст] : учебник для техникумов / Ю. В. Панфилов, В. Т. Рябов, Ю. Б. Цветков. - М. : Радио и связь, 1988. - 320 с. : ил. ; 21см. - ISBN 5-256-00062-4 : 1.00 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы Подъемно-транспортное оборудование--Робототехника Кл.слова (ненормированные): средства очистки воздушной среды -- физико-термическое оборудование -- элионная обработка -- механическая обработка полупроводниковых приборов -- интегральные микросхемы -- химико-технологическая обработка Аннотация: Изложены конструкции и принцип действия современного оборудования для производства интегральных микросхем (ИС), основы робототехники и гибких автоматизированных систем. Описаны принципы построения и вопросы эксплуатации промышленных роботов, систем управления с использованием ЭВМ и микропроцессоров. Приведены материалы по анализу конструкции сборочного, химико-технологического, фото,- рентгено, электронно-литографического оборудования. Для учащихся техникумов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Рябов, В. Т. Цветков, Ю. Б. |