Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология тонких пленок [Текст] : справочник / Л. Майссел [и др.]. - М. : Советское радио, 1977 - . Т. 2. - 1977. - 768 с. : ил. ; 22см. - 4.45,25.00 р.
Рубрики: Физика--Физика твердого тела Кл.слова (ненормированные): тонкие пленки -- особенности тонких плёнок -- рост тонких плёнок -- конденсация -- структура плёнок -- монокристаллические плёнки -- химический состав плёнок -- свойства тонких плёнок Аннотация: Справочник по технологии тонких плёнок-наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким плёнкам твёрдых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издаётся в двух томах. В т. 1 включены гл. 1-7, в т. 2-гл. 8-21. В т. 1 справочника читатель найдёт исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких плёнок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения плёнок путём ионного распыления); технологические разъёмы, а также параметры необходимой аппаратуры. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких плёнок. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Майссел, Л. Глэнг, Р. Елинсон, М. И. Смолко, Г. Г. |