Новые поступления (книга в стадии обработки) Попов, В. К. Расчет и проектирование устройств электронной и ионной литографии [Текст] : научное издание / В. К. Попов, С. Н. Ячменев. - М. : Радио и связь, 1985. - 128 с. : ил. ; 21см. - 0.45 р.
Рубрики: Электроника--Оптоэлектроника Кл.слова (ненормированные): электроника -- электронная литография -- оптоэлектроника -- ионная литография -- генераторы изображения -- проекционные устройства Аннотация: Изложены сведения о принципах работы и конструктивных особенностях устройств зондового и проекционного оборудования электронной и ионной литографии. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Ячменев, С. Н. |