Новые поступления (книга в стадии обработки) Румак, Н. В. Система кремний-двуокись кремния в МОП-структурах [Текст] / Н. В. Румак ; под ред. В. М. Колешко ; Физико-технич. ин-т (Минск) . - Минск : Наука и техника, 1986. - 240 с. : ил. ; 21см. - Библиогр.: с. 219. - 1.80 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--МОП-структуры Кл.слова (ненормированные): электроника -- интегральные микросхемы -- МДП-структуры -- полупроводниковые приборы -- пороговое напряжение -- окисные пленки -- многослойные структуры -- окисление кремния -- кремниевые пластины -- экзоэлектронная эмиссия -- пленки Аннотация: Систематизированны современные представления по теории и практике применения систем кремний-двуокись кремния в технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем на МОП- структурах.Обсуждаются физические механизмы роста пленок двуокиси кремния на кремнии,образования в них характерных дефектов и заряда. Установлены закономерности изменения электрофизических свойств системы кремний-двуокись кремния при выращивании окисных слоев и нанесении на поверхность оксила металлических пленок.Показана их связь со структурными превращениями окисла в переходном слое вблизи кремния. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Колешко, В. М. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Смирнов, Олег Михайлович. Обработка металлов давлением в состоянии сверхпластичности [Текст] / О. М. Смирнов. - Москва : Машиностроение, 1979. - 182, [2] с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 181-183. - 0.60 р. Рубрики: Машиностроение--Машиностроительные и металлообрабатывающие процессы и производства Кл.слова (ненормированные): ОМД -- газостатическая деформация -- напряжение -- обработка давлением -- объемная штамповка -- осевое растяжение -- полые изделия -- пороговое напряжение -- предел текучести -- растяжение -- реологические основы -- сверхпластичность металлов -- текучесть -- формовка -- формообразование -- штамповка Держатели документа: Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) |