Новые поступления (книга в стадии обработки) Березин, А. С. Технология и конструирование интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для вузов / А. С. Березин, О. Р. Мочалкина ; под ред. И. П. Степаненко. - М. : Радио и связь, 1983. - 232 с. : ил. ; 20см. - 0.80 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): интегральные микросхемы -- полупроводниковые ИС -- пленочные ИС -- планарная технология -- легирование -- фотолитография -- сверхбольшие интегральные схемы -- транзисторы Аннотация: Рассмотрены основные вопросы технологии и конструирования интегральных микросхем. Дается описание процессов планарной технологии полупроводниковых ИС, технологических процессов производства пленочных ИС, методов проектирования элементной базы и конструирования ИС в целом, конструктивно-технологические особенности БИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Мочалкина, О. Р. Степаненко, И. П. |