Новые поступления (книга в стадии обработки) Маллер, Р. Элементы интегральных схем [Текст] / Р. Маллер, Т. Кейминс ; пер. с англ.: Е. З. Мазеля, Л. С. Ходоша. - М. : Мир, 1989. - 630 с. : ил. ; 22см. - ISBN 5-03-001100-5 : 3.20, 92.00 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы Кл.слова (ненормированные): электроника -- интегральные микросхемы -- полупроводники -- полупроводниковые материалы -- дырки -- доноры -- акцепторы -- дрейфовая скорость -- подвижность -- рассеяние -- диффузионный ток -- магнитный датчик -- эффект Холла -- кремниевые приборы -- выращивание монокристаллов -- термическое окисление -- фотолитография -- перенос рисунков -- диффузия -- ионное легирование Аннотация: Изложены основы физики и технологии изготовления элементов кремниевых ИС, принципы их действия, вопросы расчета и конструирования, а также математические модели, используемые для проектирования как самих элементов, так и цифровых и аналоговых ИС на их основе. Большое внимание уделяется математическим моделям элементов ИС, предназначенным для ИС элементов: биполярные транзисторы с оксидной изоляцией, КМОП-структуры и т. д. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Кейминс, Т. Мазель, Е. З. Ходош, Л. С. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Таруи, Я. Основы технологии сверхбольших интегральных схем [Текст] / Я. Таруи ; пер. с япон. В. А. Лазарева ; под ред. В. Г. Ржанова. - М. : Радио и связь, 1985. - 480 с. : ил. ; 22см. - 2.70 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): сверхминиатюризация -- интегральные схемы -- полупроводниковые интегральные схемы -- электронно-лучевая литография -- электроны -- электроннооптические системы -- методы совмещения -- эффект близости -- искажения изображения -- компенсация изгибов пластины -- сканирование излучения -- перенос рисунков -- контроль шаблонов -- дефекты шаблонов -- электронорезисторы -- СБИС -- геттерирование -- сухое травление -- плазменное травление -- технология лазерного отжига Аннотация: Рассмотрены методы электронно-лучевой,фото-и рентгеновской литографии,применяемые при изготовлении сверхбольших интегральных схем.Дана классификация различных типов дефектов,методов их диагностики и путей совершенствования используемых материалов.Обсуждаются принципы работы технологического и контрольно-измерительного оборудования,а также способы повышения качества шаблонов и структур СБИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Лазарев, В. А. Ржанов, В. Г. |