Новые поступления (книга в стадии обработки) Электрохимические и электрофизические методы обработки материалов [Текст] : сборник науч. трудов / Тульский гос. техн. ун-т ; отв. ред. В. В. Любимов. - Тула : ТулГу, 1995. - 122 с. : ил. ; 20см. - ISBN 5-230-26064-5 : 10.00 р.
Рубрики: Обработка материалов--Электрические методы обработки Кл.слова (ненормированные): обработка материалов -- электрохимическая обработка -- электрофизическая обработка -- ионно-плазменная обработка -- вакуумная технология -- поверхностные покрытия -- алмазоподобные углеродные пленки -- инструментальные покрытия Аннотация: Приводятся результаты исследований электрохимической, электрофизической и совмещенной обработки материалов. Рассматриваются вопросы ионно-плазменных вакуумных технологий нанесения поверхностных покрытий с заданным физико-механическими и химическими свойствами, исследуется возможность применения алмазоподобных углеродных пленок в качестве инструментальных покрытий, предлагаются способы формирования многослойных ионно-плазменных покрытий. Для научных работников, студентов. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Любимов, В. В. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Ивановский, Г. Ф. Ионно-плазменная обработка материалов [Текст] / Г. Ф. Ивановский, В. И. Петров. - Москва : Радио и связь, 1986. - 232 с. : ил. - 1.20 р. Рубрики: Техника--Обработка материалов Кл.слова (ненормированные): ионно-плазменная обработка -- обработка материалов -- плазма Аннотация: Рассматриваются физико-химические основы и принципы применения ионно-плазменной обработки материалов в вакууме с целью очистки их поверхностей, травления на поверхности структур субмикронного размера, а также получения пленочных покрытий различных материалов. Анализируются основные закономерности и теоретические представления о процессах ионно-плазменной обработки. Держатели документа: Муниципальное учреждение культуры (Централизованная библиотечная система города Саратова) Доп. точки доступа: Петров, В. И. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Технология СБИС [Текст] : в 2 кн. / под ред. С. Зи [и др.] ; пер. с англ. В. Н. Лейкина. - М. : Мир, 1986. Кн. 2. - 1986. - 453 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 437-438. - 2.30 р.
Рубрики: Электроника--Интегральные микросхемы--СБИС Кл.слова (ненормированные): ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- БИПОЛЯРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ГЕРМЕТИЗАЦИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ Аннотация: В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС, методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Зи, С. \\ред.\\ Лейкин, В. Н. \\пер.\\ Чистяков, Ю. Д. \\ред.\\ Петров, В. Б. \\ред.\\ Эйдельман, Б. Л. \\ред.\\ |