Новые поступления (книга в стадии обработки)
    Абрамова, Н. А.
    Тонкослойная электрическая изоляция [Текст] : учеб. пособие / Н. А. Абрамова, С. Н. Койков ; Ленинградский политехн. ин-т им. М. И. Калинина. - Л. : ЛПИ, 1987. - 71 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 69. - 0.20 р.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Электроника--Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- литография -- диффузия -- диффузия примесей -- термическое испарение -- термическое окисление -- ионно-плазменное напыление -- электрическая изоляция
Аннотация: Излагаются физические принципы основных технологических процессов, используемых для получения тонких диэлектрических, полупроводниковых и металлических слоев и слоистых систем: термическое окисление, катодное и ионно-плазменное испарение, диффузия и ионная имплантация примесей, литография и др.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Койков, С. Н.

Новые поступления (книга в стадии обработки)
    Физическая акустика [Текст] = Physical acoustics : монография / под ред. У. Мэзона. - М. : Мир, 1969 - .
   Т. 3, Ч. А : Влияние дефектов на свойства твердых тел = The effect of imperfections / пер. с англ. под ред. Э. М. Надгорного. - 1969. - 578 с. : ил., табл. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - 3.24 р.
Тит. л. парал. на англ. яз.
ГРНТИ
УДК

Рубрики: Физика--Акустика

   Физика--Физика элементарных частиц


Кл.слова (ненормированные):
ВНУТРЕННЕЕ ТРЕНИЕ -- ТЕРМОДИНАМИЧЕСКАЯ ТЕОРИЯ -- РЕЛАКСАЦИЯ -- ДИФФУЗИЯ ПРИМЕСЕЙ -- УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ МЕТОДЫ -- ДЕФОРМАЦИЯ -- УСТАЛОСТЬ МЕТАЛЛОВ -- ТВЕРДЫЕ ТЕЛА
Аннотация: Книга посвящена влиянию различных дефектов кристаллической решетки на свойства твердых тел и на распространение ультразвуковых колебаний в твердых телах. Отдельные главы написаны крупными специалистами в соответствующих областях науки и носят самостоятельный характер.
Держатели документа:
Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А.


Доп. точки доступа:
Надгорный, Э. М.
Мэзон, У. \\ред.\\ Mason W. P.