Новые поступления (книга в стадии обработки) Абрамова, Н. А. Тонкослойная электрическая изоляция [Текст] : учеб. пособие / Н. А. Абрамова, С. Н. Койков ; Ленинградский политехн. ин-т им. М. И. Калинина. - Л. : ЛПИ, 1987. - 71 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 69. - 0.20 р.
Рубрики: Электроника--Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- литография -- диффузия -- диффузия примесей -- термическое испарение -- термическое окисление -- ионно-плазменное напыление -- электрическая изоляция Аннотация: Излагаются физические принципы основных технологических процессов, используемых для получения тонких диэлектрических, полупроводниковых и металлических слоев и слоистых систем: термическое окисление, катодное и ионно-плазменное испарение, диффузия и ионная имплантация примесей, литография и др. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Койков, С. Н. |
Новые поступления (книга в стадии обработки) Физическая акустика [Текст] = Physical acoustics : монография / под ред. У. Мэзона. - М. : Мир, 1969 - . Т. 3, Ч. А : Влияние дефектов на свойства твердых тел = The effect of imperfections / пер. с англ. под ред. Э. М. Надгорного. - 1969. - 578 с. : ил., табл. ; 22 см. - Библиогр. в конце глав. - 3.24 р. Тит. л. парал. на англ. яз.
Рубрики: Физика--Акустика Физика--Физика элементарных частиц Кл.слова (ненормированные): ВНУТРЕННЕЕ ТРЕНИЕ -- ТЕРМОДИНАМИЧЕСКАЯ ТЕОРИЯ -- РЕЛАКСАЦИЯ -- ДИФФУЗИЯ ПРИМЕСЕЙ -- УЛЬТРАЗВУКОВЫЕ МЕТОДЫ -- ДЕФОРМАЦИЯ -- УСТАЛОСТЬ МЕТАЛЛОВ -- ТВЕРДЫЕ ТЕЛА Аннотация: Книга посвящена влиянию различных дефектов кристаллической решетки на свойства твердых тел и на распространение ультразвуковых колебаний в твердых телах. Отдельные главы написаны крупными специалистами в соответствующих областях науки и носят самостоятельный характер. Держатели документа: Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю. А. Доп. точки доступа: Надгорный, Э. М. Мэзон, У. \\ред.\\ Mason W. P. |